EFM022CPS手持靜電測試儀是一非接觸式手提靜電場測量儀，是測量物體表面靜電值和測量靜電設備的離子平衡度。外殼為防靜電材質，并有接地扣，確保測量結果正確可靠，顯示有數字和圖形，清晰明確，在暗黑環境下，更可著亮面板顯示燈光。有離子平衡測量板，測量靜電設備的殘余電壓。
EFM022CPS手持靜電測試儀應用范圍：
檢測、監視靜電放電。
測量半導體制程中中的ESD問。
測試表面電壓（光電導體，介質表面）。
評估材料、設備和人體的產生的電壓。
用于測量薄膜，高分子材料，和紙張的靜電電位。
測量離子風機的平衡的平衡電壓和元器件的帶電電壓。
EFM022CPS手持靜電測試儀使用注意事項：
1.測量前，首先應檢查電源是否符合規定，儀器外殼（包含探頭外屏蔽筒）接地是否良好，儀器清零后，方可進行測試。
2.測試探頭應預防在和被測帶電物體表面垂直的某一股東的空間位置上（按儀器說明說指明的測試距離），測試距離變動要引出很大測試誤差。為了幸免被測帶電體和探頭外殼之間發生火花放電，開始測量時，探頭必須先放置較遠（離帶電體）的位置上，逐漸接近帶電體。
3.測試表面電位時，一般帶電體表面應離接地體足夠遠。如帶電體是薄片或薄膜狀，且背面又靠近接地體，當探頭移向接地體附近時，由于局部電荷的感應集中，有產生空間放電或表面放電的危險。
4.當帶電體的被測部位是較大的平板時，其測量值是較精確的，但當帶電體被測表面具有肯定的曲率半徑時，測量值就和實際的電位值有較大差別了。
5.應當考慮儀器自身特性對測試精度的影響，使用前應定期進行校準和標定。
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